因此直流电晕不适合于有机废气的治理要求且需要把电源制成电源高压一体板的样式。 四、 等离子体降解 VOCs 技术及相关概念 等离子体是不同于固、液、气等状态的物质存在的第四种状态，强流脉冲电子束表面改性其中含有离子、电子、激发态原子或分子、自由基等物种，由于在一定的空间范围内气体中的正、负电荷相等，故称之为等离子体。它是由大量正负带电粒子和中性粒子组成并表现出集体行为的一种准中性气体。
由于是在真空中进行，电子束表面性能改性不污染环境，保证清洗表面不受二次污染。。半导体封装领域有其行业特点，相对于其他常规电子产品对等离子体表面处理的要求，半导体封装对等离子体清洗机设备的均匀性、颗粒数或颗粒数、UPH指标提出了更高的要求，所以一般都是在低压条件下对加工产品需要进行等离子表面处理，所用设备是真空等离子清洗机设备。
与中频等离子体清洗机不同的是，电子束表面性能改性在射频电容耦合放电过程中，电极板的自偏压受放电压力的影响，自偏压较小，电子的功率吸收主要来自于与电极板表面振荡鞘层的相互作用。因此，射频等离子体清洗设备的激发频率越高，对电子的功率吸收就越高，相应的离子轰击能量就会降低。
特别是较大类型装置的建造，强流脉冲电子束表面改性必须立足于各项经过试验的、成熟的工程技术，辅之以必需和能够及时开发出来的单项新技术，例如强流电子束和离子束技术。 装置建成后，实验的第一步是使用各种仪器手段，对装置中产生的等离子体进行测量；测量数据要按照已有的理论进行处理，以得出装置中等离子体具体形成过程和现象细节性质的定性和定量的结果，这些就是等离子...
