等离子体原理与超声波清洗原理相同，附着力相似的原理当模块内接近真空时，射频通电，打开气体电离，等离子体，并伴随着辉光放电，等离子体在电场的作用下加速，从而在电场的作用下高速运动，表面发生物理碰撞，等离子体的能量足以去除各种污染物，同时氧离子可以将有机污染物氧化成二氧化碳和水蒸气带出客舱。
传统的清洗方法无法去除粘接区表面的微颗粒、有机物和表面氧化物，当切向力与附着力相等时一般采用射频等离子火焰机清洗技术进行清洗。等离子体是固体、液体或气体等物质的一种状态。当施加足够的能量使气体游离时，它就变成了等离子体。等离子体的活性成分包括离子、电子、活性基团、受激核素(亚稳态)、光子等。等离子体火焰机技术是利用等离子体中的活性粒子“激发(有源)原理”对样品表面进行处理，以达到去除物体表面污渍的目的。
使用这种等离子技术，附着力相似的原理可以根据特定的工艺需求，高效地对材料进行表面预处理。 等离子清洗机则是物理清洗设备中的一种。它的工作原理是等离子清洗机采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。等离子清洗机外接一台真空泵，工作时清洗腔中的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面，短时间的清洗就可以使有机污染物被彻底地清洗掉，同时污染物被真空泵抽走，其清洗程度达到分子级。
到达基板的电子一部分与离子复合，附着力相似的原理还有一部分剩余，从而在基板出现净负电荷积累，这样基板表面呈负电势。该负电势将排斥后续电子，同时吸引正离子。直到基板负电势达到某个值，使离子流与电子流相等时为止。由于基板呈负电势，则在基板与等离子体交界处形成一个由正离子构成的空间电荷层，即离子鞘层。等离子体分类按温度分类：高温等离子体和低温等离子体。高温等离子体是高于 00℃的等离子体，如聚变、太阳...