低温等离子体去除污染物的机理:在化学反应过程中等离子体传递化学能其传递过程大致如下:(1)电场+电子和RARR;(2)高能电子+分子(或原子)和RARR;(被激发态原子、被激发态基团、(3)活性基团+分子(原子)& RARR;生成物+热(4)活性基团+活性基团& RARR;生成物+热从上述过程可以看出，感光油墨怎么加强附着力电子首先从电场中获得能量，然后通过激发或电离将能量转移到分子或原子中。
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等离子清洗的工作原理是利用真空泵将工作室进行抽真空达到30~50Pa的真空度，感光油墨怎么加强附着力再在高频发生器交变电场的作用下将气体进行电离，形成等离子态，其显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的彩色可见光，材料处理温度接近室温。活性等离子对被清洗物进行物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，从而达到清洗目的。
