9.3.8 检查室门垫片 室门垫片对于保持良好的真空室至关重要警告：有燃烧的危险！警告：腔室垫圈会导致系统出现真空泄漏。检查密封面内部和外部密封条是否有裂纹或碎屑时。请及时更换。这种垫片的平均寿命为 8-12 个月。检查腔室垫圈并执行以下步骤： 1 小心地从反应室中取出垫圈。 2 将两侧拉开以查看裂缝中的密封面。如果有裂缝，拉开附着力标准更换垫圈，无论多么小。 3 检查外密封珠是否有裂纹。如果发现，更换垫圈。
Bardeen 和 Bratton 的研究结果于 1948 年 6 月发表。点接触晶体管的发明拉开了晶体管大发展的序幕，拉开附着力标准但由于其结构复杂、性能差、体积大、制造难度大，在工业上得到了广泛的应用。社会。 1948年1月，肖克利根据自己对pn结理论的研究，发明了另一种表面结晶体管，并于1948年6月获得证书。
点接触式晶体管的发明虽然拉开了晶体管大发展的序幕，拉开附着力标准但由于其结构复杂、性能差、体积大、制造困难等原因，一直未能在工业上推广应用，在社会上的反响也不够强烈。1948年1月，肖克利在自己研究p-n结理论的基础上，发明了另一种平面结晶体管，并于1948年6月获得证书。平面结晶体管又称场效应晶体管，它是平面的（见图3)，可以通过一些平面工艺（如扩散、掩模等）进行大规模生产。
该氧化膜的去除通常通过浸泡在稀氢氟酸中来完成。将等离子清洗机应用于半导体晶圆清洗工艺，拉开附着力标准具有简单、操作方便、无废弃物处理和环境污染的优点。但是，它不能去除碳或其他非挥发性金属或金属氧化物杂质。等离子清洗常用于光刻胶去除工艺。将少量氧气引入等离子体反应系统。由于强电场的作用，等离子体中产生氧气，光刻胶迅速氧化，变得易挥发。气体状况。拉开。
