在常规催化条件下，改笨料注塑喷油附着力低CH4与CO2氧化制C2烃的反应中，负载型Na2WO4催化剂在820℃时C2烃的选择性高达94.5%，但甲烷转化率较低（4.73%）。结果表明，Na2WO4/Y-Al203在等离子体条件下仍具有较高的C2烃选择性，在等离子体注入功率为30W时，C2烃选择性为72%。
上述实验结果表明，改笨料注塑喷油附着力低稀土氧化物催化剂有利于提高C2H6的转化率以及C2H4和C2H2的收率，Pd/Y-Al2O3有利于C2H2的生产。
典型的反应包括异构化、原子或小基团的消除（去除）、二聚/聚合和破坏原始物质等，改笨料注塑喷油附着力低如甲烷、水、氮气和氧气混合辉光放电，得到生命的起源物质&MDASH；&mdash；氨基酸。等离子体清洗机中存在顺反异构化、成环或开环反应。除了单分子反应外，还可以产生双分子反应。采用等离子体清洗机技术对传统浸渍法制备的Ni/SrTiO3催化剂进行了改进。
现阶段普遍采取的物理学清洗方式，改笨料注塑喷油附着力低大概可以分成2种：湿法清洗和plasma设备干法清洗。现阶段，湿洗仍占微电子清洗工艺的主导地位。但从对环境的影响、原始资料的消耗以及今后的发展情况来看，干洗要明显优于湿洗。干式清洗发展较快，优点明显，plasma设备清洗已逐步在半导体制造、微电子封装、精密机械等行业开始广泛应用。
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