目前等离子刻蚀在集成电路制作广泛使用，有机硅消泡剂涂料附着力去除表面有机物，等离子是部分离化的中性气体，在等离子中自由电子与中性分子，原子进行碰撞，通过碰撞电离，进一步得到更多的电子和离子。基于电子的能量，可以获得更丰富的离子，激发态高能中性粒子等，同时由于电子吸附在中性气体表面还可获得负离子。
一、锂电池芯等离子清洗机加工工艺流程:电池芯喂料、极耳整平、等离子清洗、电池正面、电池背面、等离子清洗、电池下料等离子清洗机优点:等离子清洗机是利用高频高压压缩空气或工艺气体来完成的等离子体被激发成等离子体，涂料附着力差解决办法等离子体与有机物和小颗粒发生物理或化学反应，形成干净、略粗的表面，彻底清洁无残留。使用等离子清洗成本低，几乎没有废气，环保。等离子清洗机可安装在流水线上，与其他自动化设备无缝对接，方便操作和监控。
CF4和O2输入等离子体机真空腔后，涂料附着力差解决办法在等离子体发生器的高频高压电场作用下，CF4和O2气体解离或相互作用，产生含有自由基、原子、分子和电子的等离子体气体气氛：O2+CF2&RARR；O+OF+CO+COF+F+E+等离子体中的自由基和正离子与孔壁上的高分子有机物质(C、H、O、N)发生反应。
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