小型等离子清洗机的应用：小型等离子清洗机也称为大气压（atmospheric pressure）等离子表面处理装置，物质极性额等同于亲水性是一种高科技技术，它实现了传统等离子清洗方法无法实现的效果。等离子体是物质的状态，也称为物质的第四状态。当向气体施加足够的能量以使其电离时，它就会变成等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括离子、电子、反应基团、激发核素（亚稳态）、光子等。
TS-PL150真空等离子清洗机的特点1.环保技术：等离子体作用过程为气固相干反应，物质极性额等同于亲水性不消耗水资源，不需添加化学物质，对环境无污染。2.适应性广：不分处理对象的衬底类型，如金属、半导体、氧化物、最高分均可处理可以很好地处理子材料3.低温：接近常温，特别适用于高分子材料，比电晕、火焰方式存放时间更长，表面张力更高。
从机理上看：等离子体清洗机在清洗中通过工作气体在电磁场的作用下激发等离子体与物体表面发生物理反应和化学反应。其中，物质极性与亲水性物理反应机理是活性粒子轰击待清洗表面，使污染物从表面分离，最后通过真空泵吸走；其化学反应机理是各种活性颗粒与污染物反应生成挥发性物质，再通过真空泵将挥发性物质吸走，从而达到清洗的目的。我们的工作气体常用氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(Ar)、甲烷(CF4)等。
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