因为臭氧是由氧分子和氧原子组成的，附着力强的油墨它的分解只是一个暂时的状态，有氧原子除了氧化作用外，其余的氧结合进入稳定状态，所以臭氧没有二次污染。如果我们通过的气体含有氧气，那么在反应过程中就会有少量的臭氧。正是由于臭氧的发生，我们在使用等离子清洗机时有时会闻到难闻的气味。这就是等离子清洗产生异味的原因。。等离子体处理机可以清洗表面，去除表面的脱模剂和添加剂。等离子体活化工艺可以保证后续粘接工艺和涂层工艺的质量。
对侧壁和栅硬掩模层具有较高的选择性比，气味低附着力强的油墨可有效防止多晶硅栅暴露，避免后续外延过程中栅内多余锗硅缺陷的生长。这种多余的锗硅缺陷会引起栅极和通孔的短路失效。四甲基氢氧化铵用于湿法蚀刻，无色或淡黄色液体，有类似胺的气味，易溶于水。其溶液为强碱性溶液，除曝光工艺外，常用作半导体中硅的显影液和蚀刻液。
其次，气味低附着力强的油墨等离子体中含有大量的高能电子、正负离子、激发粒子以及具有强氧化性的自由基，而这些活性粒子与一些气味分子相伴而生，就是发生碰撞。当结合时，气味分子在电场的作用下被激发。如果气味分子获得的能量大于其分子键能的键能，则气味分子的化学键断裂，直接分解成由元素原子或单原子组成的无害气体分子。同时产生许多活性自由基如高氧化性OH、HO2、O、O3等，与有害气体分子发生化学反应，生成无害产品。
在深圳生产加工的低温等离子体表层清洗设备主要用于圆晶级先进性封装，气味低附着力强的油墨可显著降低有机化学及类耗材类消耗，保护生态环境，降低 -plasma等离子设备应用成本。
