1、氢离子亲水性（羧基失去一个氢离子亲水性） 反应性气体以化学反应为主，氢离子亲水性电离后自由基与表面污染物发生化学反应，生产易挥发物质被排走，达到清洗的目的，氢气主要利用其还原作用，与被清洗件表面污染物发生反应，典型的如金属表面的氧化物清洗，氢气作为放电气体参与反应则发生还原反应，材料表面的氧化物与放电产生的氢离子反应生成水。而氧气主要利用其...
