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等离子体清洗的工作原理是将注入的气体激发到由电子、离子、自由基、光子和其他中性粒子组成的等离子体中。由于等离子体中存在电子、离子和自由基等活性粒子,氩气清洁机器它很容易与固体表面发生反应。反应类型可分为物理反应和化学反应,物理反应主要以轰击的形式使污染物离开表面,从而被气体带走;化学反应是活性颗粒与污染物发生反应,形成挥发性物质并被带走。在实际使用中,通常使用氩气进行物理反应,使用o2或h2进行化学反应。

等离子体是物质的一种状态,氩气清洁又称物质的第四种状态,不属于常见的固体、液体和气体状态。给气体施加足够的能量使其游离成等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态核素(亚稳态)、光子等。等离子体清洗剂是利用这些活性成分的性质对样品表面进行处理,从而达到清洗、涂膜等目的。。各气体的作用:常用气体有压缩空气、氧气、氩气、氢气、氩氢混合气体CF4等。

在引线连接之前,氩气清洁机器集成IC连接器可以通过气体等离子体清洗,以提高粘结强度和屈服。从表3可以看出,氧气和氩气等离子清洗技术可以在保持较高CPK值的同时有效提高抗拉强度。有数据表明,在对等离子清洗机效率的研究中,不同公司的不同产品类型采用等离子清洗机,使bonding lead的强度增加,但有利于提高设备的可靠性。

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