2、氧气:与产品表面化学物质发生有机化学反应。例如，氩气清洗氧可以合理地去除有机化学污染物，与之反应生成二氧化碳、一氧化碳和水。一般来说，有机污染物很容易通过化学反应去除。3、氩气清洗:表面物理轰击是氩气清洗的原理。由于它的原子大小，它可以以非常大的能量撞击产品的表面。正极氩离子被吸引到负极板上，这种冲击消除了表面上的所有污渍。然后将气体污染物抽出。
氩离子被加速后，氩气清洗产生的动能可以提高氧离子的反应性，因此可以通过物理和化学方法对污染较严重的材料表面进行清洗。基于物理反应的清洗利用等离子体离子做纯物理冲击，将附着在材料表面的原子敲掉，也称为溅射腐蚀(SPE)。它是用氩气清洗的，氩气以足够的能量轰击部件的表面，以清除任何污垢。聚合物中的大分子化学化学键被分离成小分子并被汽化，这些小分子被真空泵抽离。
等离子体表面处理机在清洗表面氧化物时使用纯氢虽然效率高，氩气清洗机器但这主要考虑放电稳定性和安全性，在选择氩等离子体表面处理机时应用混合氢是比较合适的，除材料易氧化或还原外，等离子表面处理机还可以采用倒置的氧、氢氩气清洗，以达到彻底清洗的目的。氩:物理轰击是氩清洗的机理。氩原子尺寸大，是一种有效的物理等离子体清洁气体。你可以用很大的力撞击样品表面。正的氩离子会被负极吸引。撞击的强度足以清除表面的任何污垢。
待清理表面的碳氢污染物与等离子体中的氧离子发生反应，氩气清洗机器产生二氧化碳和一氧化碳，直接将它们泵出腔体。惰性气体，如氩气、氦气和氮气，可以有效地轰击表面，并机械地清除少量的物质。等离子体对表面的影响可以延伸到几微米的深度，但通常远小于0.01微米。等离子体不会改变材料的整体性能。
