该设备的操作过程如下。 (1)将待清洗的工件送入真空室，氩气除胶固定好，启动操作装置，开始排气，将真空室的真空度设置为10Pa左右的标准真空度。典型的排气时间约为 2 分钟。 (2)将等离子清洗气体引入真空室。并将该压力保持在 Pa。不同的清洗剂可选择氧气、氢气、氩气或氮气。 (3)通过在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，使气体分解，通过辉光放电产生电离和等离子体。
其次，氩气除胶设备选用的气体存在差异，各种复杂的工艺都在真空室内进行精确控制。通常有多种气体可供选择。常用的有氢气、氧气、氩气等。每种气体的性质不同，所能达到的效果也不同。经常使用混合气体。大气压等离子常用于普通压缩空气，当然也可以连接氮气。例如，在电晕机上，如果您有特殊要求，可以连接到氮气处理。三是清洗温度。虽然大气等离子清洗的温度比较高，但大气等离子主要安装在流水线上，物料一个一个的通过，不会长时间停留在喷枪下。
真空泵的主要作用是去除副产品，氩气除胶设备如旋片机械泵和增压泵。在真空室中，它变成与气体反应的放电电离电极等离子体。常用的作为反应气源的气体有氩气、氧气、氢气、氮气、四氯化碳等单一气体，或两种气体的混合物。影响等离子清洗效果的因素有很多，例如化学品选择、工艺参数、功率、时间、元件放置和电极配置。不同清洗目的所需的设备结构、电极连接方式、反应气体种类不同，工艺原理也大不相同。
氩气本身是惰性气体，氩气除胶等离子氩不与表面反应。一种常用的工艺是使用氩等离子体通过物理溅射来清洁表面。用等离子体进行物理清洗不会产生氧化副作用，保持被清洗物体的化学纯度，并具有各向异性腐蚀作用。
氩气除胶
