等离子处理设备工艺原理介质阻挡放电过程中废气处理工艺原理介质阻挡放电过程中，亲水性树脂熔点电子从电场中获得能量，通过碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，等离子处理设备同时空气中的氧气和水分在高能电子的作用下也可产生大量的新生态氢、臭氧和羟基氧等活性基团，这些活性基团相互碰撞后便引发了一系列复杂的物理、化学反应。
蒸发时主要是水分子，水分子进入亲水性树脂然后是水合氢离子（H3O+），最后是氢氧根离子。需要在空气中分层水合氢离子、氢氧根粒子、带电粒子，也就是水蒸发形成的等离子体（因为氢氧根离子的密度大于水合氢离子的密度）。等离子体相互作用形成闪电1、低空，形成球形闪电：闪电和电的形成往往伴随着大风，即空气的相对流速比较高。不同类型的电荷以不同的速率上升，在不同的位置产生不同类型的水合离子。可能存在高度等价性。
此外，亲水性树脂熔点可以根据晶片的厚度对晶片进行有载具或无载具的加工。等离子室设计具有优异的刻蚀均匀性和工艺重复性。等离子体表面处理主要包括各种蚀刻、灰化、除尘等工艺流程。其他等离子体处理包括去污、表面粗糙化、增加水分、增强粘附和结合强度、光致抗蚀剂/聚合物剥离、介电腐蚀、晶片凸起、有机物去除和晶片脱模。等离子板清洗-等离子板将去除污染物，有机污染物，卤素污染物，如氟，金属和金属氧化物之前，他们被擦拭。
这是一种新型的、很有吸引力的、似乎可行的VOCs净化技术，亲水性树脂熔点具有良好的发展前景。未来在处理有机废气时，可以制作高压电源模块，增加设备的紧凑性，同样可以通过使用超小型高压电源来实现。电晕放电是利用小曲率半径的电极，并在电极上施加高电压。由于电极曲率半径小，电极附近的电场特别强，电子从阴极逃逸而产生不均匀放电。20世纪80年代初，美国和日本的学者提出了利用脉冲电晕产生大气非平衡等离子体的技术。
