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如采用Ar和O2的混合气体进行在线式等离子清 洗过程时，江西低温等离子处理机速率反应速率比单独使用Ar或O2都要快。氩 离子被加速后，产生的动能又能提高氧离子的反应能力，因此用物理化学方法可清除污染较为严重的材料表面。物理反应为主的清洗利用等离子体里的离子做纯物理的撞击，把材 料表面附着的原子打掉，也称为溅射腐蚀（SPE）。 采用氩气进行清洗，氩离子以足够的能量轰击器 件表面，撞击力足以去除任何污垢。
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