等离子体方法加工的片心分辨率及保真度都高，等离子体沉积薄膜对提高集成度及可靠性均有利。 等离子体沉积薄膜用等离子体聚合介质膜可保护电子元件，用等离子体沉积导电膜可保护电子电路及设备免遭静电荷积累而引起损坏，用等离子体沉积薄膜还可以制造电容器元件。在电子工业、化学工业、光学等方面有许多应用。①等离子体沉积硅化合物。用SiH4+N2O〔或Si(OC2H4)+O2〕,制成SiOxHy。
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按不同的清洁材料，等离子体沉积薄膜可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体。3)真空室内电极与接地设备间施加高频电压，使气体被击穿，并发生辉光放电，产生等离子体，使真空室内产生的等离子体完全覆盖被处理的工件，开始清洗作业，一般清洗处理持续时间从几十秒至几分钟不等。4)清洁完毕后，切断电源，通过真空泵把气体和气化的污垢排出。
特色鲜明的处理腔体形状和电极结构可以满足不同形状、不同材质的表面处理要求，等离子体表面处理系统(oxygen plasma cleaner)包括薄膜、织物、零件、粉体和颗粒等。。等离子清洗设备和超声波清洗机的理论分析区别我们先简单的定义什么是等离子体，等离子体是一团含有正离子、电子、自由基及中性气体原子所组成的会发光的气体团，如日光灯、霓红灯发亮的状态，就是属于等离子体发亮的状态。
首先谈谈中频等离子清洗机的放电，等离子体表面处理系统(oxygen plasma cleaner)由于...
