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河北等离子清洗机设备说明书

与传统的方法相比,河北等离子处理仪安装方法等离子体表面改性成本低、无废弃物、无污染,处理效果好,在金属、微电子、聚合物、生物功能材料等多领域有广阔的应用前景。 等离子表面清洗机设备的等离子体表面改性将材料暴露于非聚合性气体等离子体中,利用等离子体轰击材料表面,引起材料表面结构的许多变化而实现对材料的活化改性功能。等离子表面处理机的等离子体表面改性的功能层极薄(几到几百纳米),不会影响材料整体宏观性能,是无损工艺。

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等离子体的形成主要是借助微电子轰击中性气体原子,河北等离子表面处理机施工使中性气体原子分离而形成等离子体,不过中性气体原子核对其周围微电子有种缚束能量,我们称之为缚束能量,而外部电子能量必须大于这种缚束能量,才能分离这种中性气体原子,不过,另外部微电子往往能量不足,没有分离中性气体原子的能力,因此,我们必须采用外部能量的方法来分离原子能量,使微电子有利用分离这种中性气体原子。

金属半导体工艺中常见的金属杂质有铁、铜、铝、铬、钨、钛、钠、钾、锂等,这些杂质的来源主要有:各种器皿、管道、化学试剂,以及半导体圆片加工过程中,在形成金属互连的同时,也产生了各种金属污染。这类杂质的去除常采用化学方法进行,通过各种试剂和化学药品配制的清洗液与金属离子反应,形成金属离子的络合物,脱离圆片表面。颗粒颗粒主要是一些聚合物、光刻胶和蚀刻杂质等。

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