在活塞位置 I 和 II 处，法兰喷锌电附着力比钢板差吸气法兰中的容积将会增大。将活塞继续旋转到位置 lll 时，部分容积将被从吸力侧密封。在位置 IV 处，将该容积打开至出口侧，现有气体将会在预真空压力（高于吸入压力）下涌入。涌入的气体将会压缩从吸入侧输送的气体体积。活塞继续旋转时，将会通过出口法兰排出压缩气体。每完整旋转一圈，针对每两个活塞重复执行此过程两次。通过输送室内的无接触式运行，可以以较高转速运行摇杆式活塞泵。
(D)接触时间：待清洗材料在等离子体中的接触时间对材料与等离子体的表面清洗效果影响很大。工作效率。接触时间越长，附着力比较高的漆清洗效果越好，但工作效率越低。此外，长时间清洁会损坏材料表面。 (E)渗透率：与常压等离子清洗工艺相比，清洗大型物体时会出现连续渗透的问题。因此，被清洗物与电极的相对运动越慢，清洗效果就越高，但如果太慢，工作效率就会变差，表面也会受到损伤。
经过等离子处理的元器件表面具有更高的表面能，附着力比较高的漆能够实现其与塑封料的结合，减少塑封工艺技术中分层、针孔等现象的产生。2). 氩气可形成氩离子，并可以利用材料表面生成的自偏压对材料进行溅射，消除表面吸附的外来分子并能够有效去除表面金属氧化物 。在微电子打线前的进行等离子处理是一种比较典型的工艺。如经过等离子体处理后的焊盘表面，清除了有机污染物和氧化物，能够有效提高打线和焊线时的可靠性，提高良率。。
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