化学反应型等离子清洗机具有:性能好，涂料中附着力不合格的原因清洗速度快，去除氧化物、有机物和物体表面的活化效果非常好，而且使用过程中不会产生对人体和环境有害的气体，是一款真正的环保设备。等离子清洗机采用气体作为清洗介质，有效避免了液体清洗介质造成的二次污染。等离子清洗机连接真空泵，清洗室中的等离子体柔软，对被清洗物体的表面进行清洗。短时间的清洗可以使有机污染物彻底清洗干净，通过真空泵将污染物抽走，清洗程度达到分子水平。
等离子体与固体表面的反应分为物理反应（离子冲击）和化学反应，附着力不合格的原因等离子体与固体表面的反应又分为物理反应（离子冲击）和化学反应。物理反应机理是活性颗粒与被清洗表面碰撞，污染物从表面分离出来，最后被真空泵吸走。化学反应机理是各种活性粒子与污染物反应产生挥发物。物质和挥发性物质被真空泵吸走。
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2.等离子体由电子、离子、自由基、激发分子和原子、基态分子和光子组成。虽然它表面上看起来是电中性的，附着力不合格的原因但实际上它内部具有很强的电、化学和热效应。 3、真空等离子清洗机产生的等离子为非平衡等离子气体的温度远低于电子的温度，电子的质量也很小，但电子的温度还是几万度。在这种情况下，等离子体产生过程中的消失、碰撞、辐射、耦合等。产生大量热量，真空泵抽出一小部分热量，其中大部分留在真空反应室中。
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