在真空室中，金属表面改性的原理是高频电源在恒压下产生高能混沌等离子体。等离子体与表面碰撞。对已经清洗过的产品，达到清洗的目的。优点：（真空式精度和全面性）。【真空等离子体处理装置】表面等离子体-基本原理：表面等离子体场分布特性表面等离子体（SURFACE PLASMANS，SPS）是指存在于金属表面的自由振动电子和光子沿金属表面传播 电子密度波。
等离子清洗机在电子封装引线键合等工艺中的等离子清洗工艺是干洗应用的重要组成部分。随着微电子技术的发展，清华大金属表面改性专家等离子清洗的好处越来越明显。在半导体器件的制造过程中，晶片表面存在颗粒、金属离子、有机物、残留磨粒等各种污染物。为了集成 IC 并确保器件性能，需要在不损害芯片表面和电性能以及所用其他材料的情况下，清洁和去除芯片表面的这些有害污染物。我有。
尤其是半导体晶圆的表面质量，清华大金属表面改性专家几乎每道工序都需要清洗。这是一个相当严重的危险。主要原因是圆形表面的颗粒和金属材料中的杂质对机械的质量和产量有显着影响。在目前的IC制造过程中，由于片状表面污染，材料损失仍然超过50%。此外，其工艺质量直接危害机器和设备的产量、性能和可靠性，因此国内外各大公司和研究机构不断研究清洗工艺。等离子清洗机工艺简单，操作方便，无废弃物处理，无环境污染。
专家指出，金属表面改性的原理是等离子体技术已成为热点研究方向，“随着近年来应用需求的不断扩大，大气放电等离子体技术是电工领域最活跃的热点研究，已成为方向之一。” ”在我国科协第66届新概念新理论学术沙龙上，清华大学王新信教授将基础研究与应用研究融为一...