在真空室中，金属表面达因值高频电源在恒压下产生高能混沌等离子体，与清洗后的产品表面碰撞。达到清洁的目的。一般来说，清洗/蚀刻意味着去除干扰物质。清洁效果的两个例子是去除氧化物以提高钎焊质量，以及去除金属、陶瓷和玻璃、陶瓷和塑料（聚丙烯、聚四氟乙烯等）塑料表面的有机污染物。通过去除改善粘合特性。由于它们固有的非极性，这些材料在粘合、涂漆和涂层之前进行了表面活化。等离子最初用于清洁硅片和混合电路，以提高键合线和焊接的可靠性。
1.低温等离子清洗机解决陶瓷膜等离子清洗机前正负两级涂装问题：汽车动力锂电池的正负极级是根据陶瓷膜的正极级和电池正极材料制成的。与乙醇等水溶液清洗相比，清洁金属表面达因值等离子清洗机不会损伤材料本身，可以去除原料表面的有机物，提高薄膜表面的润滑性，提高涂层的均匀性、耐热性和安全系数。2.焊接前等离子清洗处理：锂片实际上是正负极之间正确引导充电电池的金属材料条的一部分。电池充电和充放电时为点接触式。
等离子体是一种良好的导电体，清洁金属表面达因值通过巧妙设计的磁场来捕获、移动和加速。等离子体物理学的发展为材料、能源、信息、环境空间、空间物理、地球物理等科学的进一步发展提供了新的技术和过程。等离子体，其实是宇宙中常见的物质，太阳、恒星、闪电都存在于等离子体中，它占宇宙的99%。等离子体现在是由电场和磁场产生控制的。例如，焊工使用热等离子体焊接金属。等离子体可分为两类:高温等离子体和低温等离子体。
集成电路的真空等离子清洗可以显着（显着）提高键合线的强度，清洁金属表面达因值减少（减少）电路故障的可能性。暴露于等离子体后，可以在短时间内去除残留的光刻胶、树脂、溶剂残留物和其他有机（有机）污染物。印刷
