等离子体是由带正、负电荷的离子和电子,也可能还有一些中性的原子和分子所组成的集合体。plasma等离子清洗机一般由控制部分、真空腔室部分、等离子电源及耦合部分、气体部分组成。
plasma等离子清洗机结构原理图Plasma等离子清洗机工作原理
Plasma等离子清洗机基本工作原理是在真空的状态下，设备腔体内的电极形成很高频率的交变电场，腔体内的氧气或氩气在交变电场的作用下形成等离子体，腔体内被清洗的物体在活性等离子的化学反应和反复物理轰击的双重作用下，使其表面挥发物残留、杂质、灰尘、氧化物等变成离子或气态物质，这些离子或气体在真空的抽离下排出腔体，剥离出被清洗的物体表面，从而达到清洗的目的。采用这种方法能够提升材料的粘附性与湿润性，去除不同类型的污染物和杂质，从而为之后的工序奠定良好的基础。
氧气清洗是利用氧气与有机物产生化学反应，变成二氧化氮和水蒸气,再通过抽风将气体抽出的方式达到清洗的目的，清洗速度快效果好，但是不适合易于氧化的物体，只适合不易氧化的物体清洗。反应方程式如公式（1）所示。
O2+e------>2O＋e CO2+H2O＋e（1）
氩气清洗是利用比较重氩离子以高度运动的物理方法打破污染有机物脆弱的化学键,进而使表面污染有机物变成气体脱离载体。反应方程式如公式（2）所示。Plasma清洗微观原理图如图1所示。
Ar+e------>Ar++2e------>Ar++CxHy(2)
Plasma 清洗微观原理图与传统的清洗相比，plasma等离子清洗的成本低、清洗效果好、安全环保且不会造 成二次污染，同时等离子清洗不仅可以去除固体表面的污染物，还可以提高固体 表面的润湿性能。plasma等离子清洗机工作原理可做如下解释：通过抽真空，对真空腔体内的 气体施加足够的能量使之离化为等离子体，一方面生成的等离子体可对样品表面 的污染物进行分解并将其带走，...
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