等离子清洗机的应用，起源于20世纪初，随着高科技产业的快速发展，其应用愈来愈广，目前已在众多高科技领域中，居于关键技术的地位。等离子清洗技术对产业经济和人类文明影响最大，首推电子资讯工业，尤其是半导体业与光电工业。等离子清洗机已应用于各种电子元件的制造，可以确信，没有等离子清洗技术，就没有今日这么发达的电子、资讯和通讯产业。随着等离子清洗机的大量运用，等离子清洗机清洗缺点也成为了人们关心的对象，目前等离子清洗机最大的缺点就是时效性问题。
等离子体清洗优势明显，具有操作简单、精密可控、无需加热处理、整个工艺过程无污染以及安全可靠等特点，在表面处理领域中获得了大规模的推广应用。
当然，我们也必须承认，大多数新鲜事物在刚面世的时候，都是不完美的。它之所以出现，不过是刚好比前一个完美罢了；但随着新事物的推陈出现，永远有后面的事物取代先前的。既然如此，我们在研究新事物时，首先应该看到对方的优点——毕竟新事物是基于当前时间、当前地点、当前条件下的完美。然后，我们要尝试用研究优点的态度去关注缺点，辩证地去看待新事物的出现。
下面我们就一起来了解下等离子清洗机清洗的缺点：
一方面，当各种活性粒子与被清洗物体表面彼此碰触时，各种活性粒子与物体表面杂质污物会发生化学反应，形成易挥发性的气体等物质，随后易挥发性的物质会被真空泵吸走。例如，活性氧等离子体与材料表面的有机物发生氧化反应。它的优点是清洗过程相对较快、选择性相对好以及清除污染物的效果非常好，缺点是产品外表面发生氧化产生氧化物，附着在产品表面。
另一方面，各种活性粒子会轰击清洗材料表面，使得材料表面的沾污杂质会随气流被真空泵吸走。这种清洗方式本身不存在化学反应，在被清洁材料表面没有留下任何氧化物，因此可以很好地保全被清洗物的纯净性，保障材料的各向异性。缺点是它会对材料表面造成很大损伤和侵蚀，会在材料表面发生很大的反应热，对被清洗表面的杂质污物选择性差。例如，用活性氩等离子体清洗物件表面微粒污染物，活性氩等离子体轰击被清洗件表面后产生的挥发性污染物会被真空泵排出。
如果说上述等离...
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