在较低的功率下，电弧喷涂附着力洗涤薄膜的剪切强度会降低。它随功率增加。它随着增加而增加，达到峰值，然后逐渐降低强度。电感耦合等离子体蚀刻 (ICPE) 是化学反应和物理联系的综合表现。机制如下：在低压下，ICP射频电源输出到环形耦合电磁线圈，耦合电弧放电使混合蚀刻气体通过耦合电弧放电产生高密度等离子体。晶圆表面过渡，离子衬底图案化区域中的半导体器件键合断裂，蚀刻蒸气产生挥发物。这将蒸汽与板分离并将其从管中排出。
后者除了供轴向工作气外,还像电弧等离子体炬气稳弧一样,切向供入旋转气流以冷却并保护放电室壁(通常用石英或耐热性较差的材料)。 图4 高频等离子体炬示意图等离子体发生器应用 高频等离子体炬在工业中已有多方面的应用，电弧喷涂附着力特别是在等离子体化工、冶金和光学材料提纯等方面。它还可制备超导材料，如用氢高频等离子体还原钒－硅（或钒－锗），铌－铝（或铌－锗）的氯化物蒸气以制备超导材料。
然后重复下一个电离和带电粒子运动的过程。当循环产生许多电晕电流脉冲时，电弧喷涂附着力电晕放电在大气压下工作，但需要足够高的电压来增加电晕部位的电场。一般在高电压、强电场的使用条件下，难以获得稳定的电晕放电，容易发生局部电弧放电（ARC）。为了提高稳定性，反应器可以采用不对称（ASYMMETRIC）电极的形式（见下图）。电晕放电反应器的设计主要取决于电源的性质，包括直流电晕和脉冲电晕放电。
处理温度可以从80℃降低到50℃以下，温度对电弧喷涂附着力低温处理可以保证对产品表面没有热影响。 2、处理过程无污染等离子表面处理机本身是一种环保设备，不存在因处理过程造成的污染或污染。与生产线配套可实现全自动生产。并节省成本。 3、稳定的处理效果
