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典型的等离子化学反应包括原子和官能团的形成、异构化、原子和分子小团的去除(去除)、二聚/聚合、化学溅射、外部蚀刻和外部材料合成。。一、背景随着日本城市垃圾的不断增加,附着力好的标线漆垃圾围城的情况越来越突出,对环境安全构成严重威胁。迫切需要开发新一代的先进环保和节能技术。等离子技术已经发展了 100 多年。由于其高温和丰富的化学反应粒子,等离子体具有非凡的处理能力,近几十年来被人们用来炸毁各种难以处理的危险废物。

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与未经处理的样品相比,溅射镀和电镀哪个附着力好PL峰强度增加了71%,等离子体硫钝化样品的峰波长在退火后恢复。用硫等离子体钝化 GaAs 样品不会造成明显的杂质污染。特别是钝化效果比较稳定,更适合GaAs光电器件的钝化工艺。使用高频等离子清洗机对 GaAs 衬底的表面进行硫钝化处理。射频等离子体的钝化效果受基板温度、溅射功率和劣化温度的影响。通过优化硫等离子体钝化条件,样品的PL强度提高了71%,提高了PL稳定性。。

在等离子体与材料表面相互作用的过程中,溅射镀和电镀哪个附着力好等离子体的基本作用是: 1)与中性气体分子碰撞高能电子可以打断化学链,激发和激活工作气体,引发化学反应。 2)等离子粒子被加速到基板并与基板表面碰撞。另一方面,材料表面的原子或基团通过分解、溅射、蚀刻等方式与材料表面分离。 另一方面,通过注入、基团转化和聚合,可以通过接枝将新的原子或分子引入材料表面,从而导致材料表面的组成、结构和性能发生变化。

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