Ar等离子清洗机在工业生产方面的3个运用 Ar是1种惰性气体，等离子体颜色电离后形成的离子体不易与材料发生化学反应，在等离子清洗中主要是被运用于材料表面的物理性清理及表面钝化处理，其特征是在表面清理中不易形成高精度电子器件的表面空气氧化。Ar在真空等离子清洗机中离子化后，形成的plasma呈暗红色。在相同的充放电条件下，氢气和氦气所形成的等离子体颜色基本都是呈红色，但氩等离子体的饱和度会低于氮气且高过氢气。
用真空等离子清洁器电离 Ar 后，激光诱发fe等离子体颜色产生的等离子变成深红色。在相同充放电条件下，氢气和氦气形成的等离子体颜色基本为红色，但氩等离子体的饱和度低于氮气，高于氢气。 ① Ar等离子清洗机的表面清洗在清洗单晶硅片和夹层玻璃的表面时，通常采用Ar等离子体使表面的细颗粒过渡，以实现细颗粒的分散。脱落（从表面去除材料）的预期效果与超声波清洗或离心清洗等处理相结合，以去除表面上的细颗粒。
正因如此，等离子体颜色氩等离子体清洗机被广泛应用于半导体、微电子、晶圆制造等职业。真空等离子体清洗机中氩离子化产生的等离子体呈暗红色。在相同放电环境下，氢气和氮气产生的等离子体颜色均为红色，但氩等离子体的亮度低于氮气，高于氢气，仍是很好的差异。1外部清洗在去除晶圆、玻璃等产品的外部颗粒的过程中，一般选用用Ar等离子体轰击外部颗粒，达到颗粒破碎疏松（与基体外部分离）的效果，再用超声清洗或离心清洗去除外部颗粒。
正因为真空等离子清洗机有以上诸...
