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热喷锌附着力测试方法

工艺范围孔底提高等离子可达性的能力,热喷锌附着力不合格同时扩大工艺窗口,使用更低的压力和更高的气体流速来消除过孔底部的蚀刻产物。因此,解决了上述问题。刻蚀气体选用传统的SIO2刻蚀工艺在CCP腔中,对于不同碳氟比的混合气体(CH2F2、C4F6、C4F8等),要考虑侧壁角度和选择性。通过蚀刻控制沟槽的主要要求包括: (1) 硬掩模层的选择性; (2) 通孔侧壁的连续性; (3) 通孔侧壁角度。

热喷锌附着力要求

主要控制要求是光刻胶缩小工艺每个周期的尺寸缩小均匀性、边缘粗糙度控制、整个晶圆的尺寸缩小均匀性以及光刻胶的 SIO2 / SI3N4 蚀刻工艺选择性。步宽的精度决定了后续的接触孔能否正确连接到指定的控制栅层。每个台阶的宽度(即每个控制栅层的扩展尺寸)都在数百纳米量级,热喷锌附着力怎么测以便后续的接触孔可以安全、准确地落在控制栅层、每个光刻胶掩模层上。因为它需要成为。需要循环过程中的还原过程。一切都需要单方面缩小数百纳米。

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