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真空室或管路有泄漏时,电泳漆附着力检查检查连接部位及腔体密封检查系统参数设置9真空等离子清洗机的真空度过低,系统将自动停止,请检查供气是否正常(1)进口流量设置过小,真空度无法保持。②流量计故障:流量计堵塞或损坏。

检查等离子蚀刻机的放电空间时当放电电流均匀时,焊道电泳漆附着力差的原因在放电电流峰值附近可以拍到10ns的放电图像,可以看出放电中没有明暗放电灯丝,说明空间放电是均匀.增加.在大气压下比较容易获得的氦是均匀放电,但同时可以看出在瞬时阴极附近有一个高强度的发光层,这是辉光放电的典型特征.我们得出结论,大气氦放电属于辉光放电。

等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;离子化的原子、分子;未反应的分子、原子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基)等,电泳漆附着力检查但物质在总体上仍保持电中性状态。    而要使物质变为等离子体一般有以下原理:  1、常压下接入气体与能量,使气体压力达到0.2mpa左右,高频高压会产生等离子体。

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