1、晶圆清洗（单片式晶圆清洗机多少个腔室）晶圆清洗仪 晶圆清洗是半导体制造过程中重要且频繁的工艺，晶圆清洗其工艺质量将直接影响器件的良率、性能和可靠性，因此国内外企业、研究机构等对清洗工艺的研究一直在不断开展。等离子清洗机作为一种先进的干洗技术，具有绿色环保的特点，随着微电子工业的快速发展，等离子清洗机技术在半导体行业也越来越多的应用。借助等离子体清洗...
