AlN作为一种新型无机填料具有高导热性、热膨胀系数低等众多优点，环氧粉末涂料附着力试验受到国内外学者的广泛关注，研究表明，添加微米AlN后的环氧树脂不仅提高了导热率，同时力学性能也有所(提)升。但相比传统的Al2O3等填料，添加AlN后的环氧树脂绝缘性能有所下降，限制了AlN在环氧树脂配方填料中的应用。。
因此这种装置的设备成本不高，环氧粉末涂料附着力试验加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂，这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺； 七、使用等离子清洗，避免了对清洗液的运输、存储、排放等处理措施，所以生产场地很容易保持清洁卫生； 八、等离子体清洗可以不分处理对象，它可以处理各种各样的材质，无论是金属、半导体、氧化物，还是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物）都可以使用等离子体来处理。
4等离子清洗机在LED封装工艺中的应用 LED封装工艺直接影响LED产品的成品率，环氧粉末增加附着力而封装工艺中出现问题的罪魁祸首99%来源于芯片与基板上的颗粒污染物、氧化物及环氧树脂等污染物，如何去除这些污染物一直是人们关注的问题，等离子清洗作为*近几年发展起来的清洗工艺为这些问题提供了经济有效且无环境污染的解决方案。
这些污染物主要包括之前FAB工厂晶圆制造过程中残留的氧化物和氟化物，环氧粉末增加附着力芯片和边框长期暴露在空气中产生的表面氧化物，芯片装载过程中环氧树脂胶体的污染，胶体固化过程中环氧树脂挥发残留物等。这些结合区上的微粒、有机物和表面氧化物，传统的清洗方法无法去除，一般采用射频等离子体火焰清洗技术进行清洗。等离...
