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等离子蚀刻通常称为蚀刻、咬合、蚀刻等。硅、磷硅玻璃和钨等薄膜...

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3、PDMS芯片键合仪等离子表面处理应用,氧等离子提高PDMS与和硅片或玻璃片的键合牢固性