在等离子清洗机在使用中，会遇到清洗达不到要求、设备本身故障率异常等问题。如何保证等离子清洗机在生产中能够达到工艺要求，同时保证设备的正常稳定运行，等离子清洗设备的维护保养至关重要。
在实际生产中，我们发现等离子清洗机一些重要的部件会随着使用时间的推移产生不同程度的氧化、老化、腐蚀等问题，会是引起等离子清洗设备达不到清洗效果的原因，例如反应腔、电极、托盘架、气体的压力等。以下介绍了几个关键部位保养前后的效果以及如何进行保养。
等离子清洗机的维护保养
在保养和维修的过程中，一方面，要做好日常检查，考虑到等离子清洗机靠电力掣动，因此，必须加强对电气安全性的检查，重点查看线路是否存在破损和老化的情况。检查电箱内继电器在闭合或断开时是否有打火花。
另一方面等离子清洗机在运行的过程中部分构件受各种因素影响，在开展预防性基本规程时，首先，相关操作人员要做好设备的清洁管理工作。
等离子反应腔体清洁
等离子清洗时产生的污物大部分都接近电子级别，会随着真空泵排除。但也会有一些大颗粒污染物产生。这些大颗粒污物会附着在腔壁、电极和托盘架上。腔壁上有一层薄薄的“灰”，腔底掉落更严重。
对于腔壁用不可掉落的毛刷清洁使颗粒粉尘异物在腔壁脱落，用吸尘机将污物吸出。用脱脂布沾酒精擦拭
电极与托盘架的保养翻新
托板架和电极长时间使用后会附着氧化层，同时采用等离子体处理烃基材料时，一段时间后在托板架、电极，上会积累一层薄的烃基残留物，这些残留物和氧化层是无法用酒精擦拭掉的。应依据附着物的量对电极、托板架进行翻新维护能保证清洗的稳定。
清洗材料要求：氢氧化钠、硫酸、城市用水和蒸馏水。注意：不要使用手磨机、砂纸或磨蚀性喷砂处理等机械方法清洁；氢氧化钠溶液会与铝发生剧烈的化学反应，应小心谨慎以确保仅在所需的时间内清除沉积物；反应中会生成具有潜在爆炸性的氢气，因此工作区域应保持良好的通风...
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