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硅片腐蚀前做亲水性处理

用真空等离子清洁器电离 Ar 后,硅片腐蚀前做亲水性处理产生的等离子变成深红色。在相同充放电条件下,氢气和氦气形成的等离子体颜色基本为红色,但氩等离子体的饱和度低于氮气,高于氢气。 ① Ar等离子清洗机的表面清洗在清洗单晶硅片和夹层玻璃的表面时,通常采用Ar等离子体使表面的细颗粒过渡,以实现细颗粒的分散。脱落(从表面去除材料)的预期效果与超声波清洗或离心清洗等处理相结合,以去除表面上的细颗粒。

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液晶液晶:模块在压制保护膜过程中去除金手指氧化、溢出等污染物,硅片腐蚀前做亲水性处理贴片前偏光片表面清洁。2、IC半导体领域:硅片去除氧化膜、有机物;Cob/COG/COF/ACF等微污染物清洗,提高密封性和可靠性。3、LED场:焊板表面行前清洁,去除有机物。塑料、玻璃、陶瓷和聚丙烯(如PTFE)都是非极性的,所以这些材料可以在印刷、粘合和涂层之前进行等离子处理。同样,等离子体可以去除玻璃和陶瓷表面的轻微金属污染。

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