在硅衬底上热生长的SiO2薄膜经过等离子清洗机的等离子表面处理，二氧化硅表面改性巯基提高了二氧化硅薄膜驻极体的稳定电荷积累。有机高分子驻极体材料具有优异的电荷储存稳定性，市面上的驻极体传感器多为有机高分子驻极体薄膜传感器。该传感器虽然具有寿命长、薄膜型、成本低等优点，但体积庞大的分立器件，无法满足驻极体声学传感器小型化和集成化的要求。近年来，人们发现二氧化硅（SiO2）薄膜表现出优异的驻极体性能。
等离子清洗机的等离子体是第四种不同于固体、液体和气体的物质形式。它由六种典型的粒子组成，二氧化硅表面改性巯基包括正离子、负离子、电子、激发分子和原子、基态分子或原子和光子。电浆清洗机，在工作中产生大量氧原子等氧基活性物质。当这些氧基等离子体喷射到材料表面时，它们可以与基材表面的有机污染物碳分子分离，成为二氧化碳后被去除。同时，有效提高了材料的表面接触性能，增强了强度和可靠性。
RF等离子体（激发频率，二氧化硅离子表面改性13.56MHz）包括物理化学双反应类型。 (2)工作气体的种类也影响等离子清洗的种类。例如，通常采用Ar2、N2等形成的等离子体进行物理清洗，通过冲击对产品表面进行清洗。反应气体 O2、H2 等等离子通常用于化学清洁，其中活性自由基与污染物（主要是碳氢化合物）发生反应。它反应形成小分子，如一氧化碳、二氧化碳和水，这些小分子会从产品表面去除。
然后用真空泵除去气态污泥。2)氧:等离子体与样品表面化合物反应的化学过程。例如，二氧化硅表面改性巯基氧等离子体可以有效地去除有机污染物氧气等离子体与污染物反应产生二氧化碳，一氧化碳和水。一般来...