1、硅表面活化（二氧化硅表面活化处理剂）氧化硅表面活化 例如，氧化硅表面活化湿法处理步骤虽然简单，但结果含有C、O、F等污染物；高温处理能有效去除C、O污染物，但处理温度有待进一步优化，后续工艺兼容性差；等离子体处理能有效去除含O和F的污染物，但处理温度和时间不当会导致表面离子的破坏，造成碳化硅表面重构。根据上述表面处理方法的特点，采用湿法清洗和氧氩等离...
2、二氧化硅表面活化（怎么活化二氧化硅表面羟基） 由于这些气体长期存在于大气中，怎么活化二氧化硅表面羟基会大大助长全球变暖，且其热量比二氧化碳高出4个数量级，环保组织从1994年开始研发减少这些气体排放的技术。氮对温室效应的影响很小，可以替代上述含F气体。半导体行业的另一个生产步骤是使用等离子清洁剂来清洁硅胶片上组件表面上由光敏有机材料制成的光刻胶...
3、二氧化硅表面改性项目（二氧化硅改性木材表面） 等离子负载催化剂的催化活化方法比较：在CO2氧化CH4为C2烃的反应中，二氧化硅表面改性项目目前用于活化反应物甲烷和二氧化碳的方法有催化活化法和等离子等离子体活化法。等离子催化剂活化法。为便于比较，三种活化条件下CO2从CH4氧化成C2烃的结果如表4-3所示。它可以转化为 1K 和高 C2 碳氢化合...
