芯片互连的常用方法包括引线键合、自动键合(TapeAutomateBonding，亲水性的训练方法TAB)和倒装芯片键合。封装过程的质量直接影响微电子产品的成品率，而整个封装过程中最大的问题就是附着在产品表面的污染物。根据污染物的不同环节，每道工序前可采用等离子清洗机。一般分布在键合、引线键合和塑封前。
此外，磷脂的头部亲水性的原因CO2、CO、H2O和空气中的一些含氧气体也可以在等离子体状态下分解成原子氧，这也是氧等离子体的功能。。随着半导体技术的发展，由于其固有的局限性，湿法刻蚀逐渐限制了其发展，因为它已不能满足具有微米甚至纳米级细线的超大规模集成电路的加工要求。晶片等离子体刻蚀机的干法刻蚀方法因其离子密度高、刻蚀均匀、表面光洁度高等优点，在半导体加工技术中得到了广泛应用。
例如，亲水性的训练方法电极采用附加曲流管的方法或通过冰水的方法，可以大大提高散热效果。 2、在真空状态下，气体往往分散，难以形成对流。等离子清洗机腔内的热量也受到真空泵的限制。如何改善：增加进气量或提高泵速，但要考虑排气的真空度和等离子处理的效果。在其他方面，等离子发生器的选择、功率尺寸设置、真空室尺寸和电极结构设计也有助于改善散热问题。。
4、真空计故障报警真空计故障报警最可能的原因就是由于真空计损坏造成的，亲水性的训练方法这时需要我们检查真空计的控制线路是否有断路和短路的情况。5、真空等离子清洗机的急停未复位或已按下报警此时需检查急停是否被按下，若是未出现这类情况，就要检查急停线路。
