旋转时，福州真空等离子清洗机泵组靠离心力和弹簧弹力使旋片顶部与泵腔内壁保持接触，转子的旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。旋片真空泵利用两个旋片将泵腔分成三部分，由于转子是偏心安装的，因此分成三部分的空间随着转子的旋转而变化，利用压强差来实现抽气。旋片真空泵是真空等离子清洗设备中使用的大多数前级泵，它可作为小型腔或真空泵组。
真空等离子清洗机工作过程： 真空等离子清洗机包括一个反应腔室、电源和真空泵组。样品放置反应腔室内，福州真空等离子清洗机泵组真空泵开始抽气致一定的真空度，电源启动便产生等离子体，然后气体通入到反应腔室，使腔室中的等离子体变成反应等离子体，这些等离子体与样品表面发生反应，生产可挥发的副产物，并由真空泵抽出。
3、真空泵真空泵主要用于抽取真空和保证腔体维持一定的真空度，福州真空等离子清洗机泵组并且能够将未电离的气体和反应副产物抽出。根据实际处理的需要，可搭配单级泵或泵组。4、真空计真空等离子处理系统的真空计主要用于监测真空腔体的真空度。5、流量计等离子处理设备的流量计主要用于测量反应气体的流量。
3.3.介质阻挡放电产生的低温等离子网我们对化学测试设备进行了讨论和分析，福州真空等离子清洗机泵组生产厂家设计了我们自己的适合本实验的介质阻挡放电NTP发生器。发生器的内外腔均为等离子发生区，通过改变环形不锈钢丝的有效长度可以改变外腔的有效放电区域。增加冷等离子体含量可以增加有害气体的处理能力。此外，该装置的尾部设计为...
