以物理反应为主的等离子体清洗，对表面改性的理解也叫做溅射腐蚀（SPE）或离子铣（IM），其优点在于本身不发生化学反应，清洁表面不会留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化学纯净性，腐蚀作用各向异性；缺点就是对表面产生了很大的损害，会产生很大的热效应，对被清洗表面的各种不同物质选择性差，腐蚀速度较低。以化学反应为主的等离子体清洗的优点是清洗速度较高、选择性好、对清除有机污染物比较有效，缺点是会在表面产生氧化物。
为了获得更好的光化学处理效果，对表面改性的理解需要选择合适波长的紫外线。改用 2537A 的波长很难达到同样的效果。火焰处理法适用于小型塑料容器的表面处理。目的是利用高温对表面进行去污，使膜层表面熔化，以提高表面不干胶油墨的性能。聚烯烃经过火焰处理后，形成极性基团以提高润湿性，极性基团润湿性的提高和链断裂的发生导致相对提高的附着力。火焰处理效果好，清洁，成本低，但操作要求严格，一不留神，产品变形，成品报废。
塑料玩具表面具有化学惰性，离子对表面改性的影响未经特殊表面处理难以使用普通胶粘剂进行粘接和印刷文字处理。等离子清洗机主要对表面进行蚀刻、活化、接枝和聚合。等离子体中粒子的能量为0～20eV，而聚合物中大多数键的能量为0～10eV。因此，等离子体作用于固体表面后，固体表面原有的化学键可以被打破，等离子体中的自由基与这些键形成网络交联结构，极大地激活了表面活性。。目前在中国市场，等离子设备的应用并不是很陌生。
氧等离子体表面处理对Ito薄膜的影响，离子对表面改性的影响以提高Ito薄膜的电性能：铟锡氧化物（ITO）作为一种重要的透明半导体材料，不仅具有稳定的化学性质，而且具有优异的透光性和导电性。因此，它被广泛应用于光电子行业。 ITO的导带主要由In和Sn的5s轨道组...
