真空等离子体表面处理技术以其操作简便、改性均匀、不破坏材料本体结构、环境友好等特点,成为近年来微流控芯片表面工程领域的研究热点。...
真空等离子清洗机的工艺气体选择,核心是根据基材特性和处理目标(清洁、活化、刻蚀、钝化)匹配气体的化学 / 物理特性。...
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