XY轴采用精密级滑块及细杆调节，感应耦合等离子束刻蚀确保贴合精度。 压力显示采用日本SMC数显压力表，精准、直观。 高可靠性感应系统，配置多项报警功能，实现安全高效。 进口PLC微电脑集中控制，工作稳定可靠，可扩展功能强。。
冷等离子体： 电子温度高（103~104K）、气体温度低,如稀薄低压辉光放电等离子体、电晕放电等离子体、DBD介质阻挡放电等离子体、索梯放电等离子体等。2、等离子发生器按等离子体所处的状态：（1）平衡等离子体等离子发生器：气体压力较高，北方华创 感应耦合等离子体刻蚀机电子温度与气体温度大致相等的等离子体。如常压下的电弧放电等离子体和高频感应等离子体。
两类等离子体各有特点和用途（见等离子体的工业应用）。气体放电分为直流放电和交流放电。 在科学技术和工业领域应用较多的发生器有电弧等离子体发生器（又称等离子体喷枪、电弧加热器）、工频电弧等离子体发生器、高频感应等离子体发生器、低气压等离子体发生器、燃烧等离子体发生器五类。最典型的为电弧、高频感应、低气压等离子体发生器三类。它们的放电特性分别属于弧光放电、高频感应弧光放电和辉光放电等类型。
2015年初，感应耦合等离子束刻蚀SEMI要求美国政府修改半导体设备出口管制清单，取得突破性成果。认识到中国存在各向异性等离子刻蚀设备，近20年来美国国家安全出口取消管制（专业光伏媒体/世纪新能源网）。这也离不开中微半导体在市场上推出的等离子清洗机CCP机，以及北方微电子在Logic 28nm硅刻蚀方面的历史性突破。。
北方华创 感应耦合等离子体刻蚀机
