一般含有自由电子、离子、自由基和中性粒子等，离子束混合-材料表面改性体系中的正负电荷数相等，宏观上是电中性的。多孔材料按组成可分为无机多孔材料和有机多孔材料，按孔径可分为大孔材料(d>50nm)、介孔材料(d=2～50nm)和微孔材料(d<2nm)。它们的孔结构规整均匀，在化工和高科技领域有着广泛的应用。
一种用小型等离子清洗/蚀刻机产生等离子的装置是在密闭容器中设置两个电极，材料表面改性微信群形成电场，实现一定的真空度。自由运动距离越来越长，由于电场的作用，发生碰撞，形成等离子体，发生辉光放电。辉光放电时的气体压力、放电功率、气体成分、流量、材料种类等对材料的刻蚀效果影响很大。由于等离子体产生的辉光放电是真空紫外线，对蚀刻速率有非常积极的影响，而且气体中含有中性粒子、离子和电子。
大气等离子表面处理器金属塑料活化处理后才能实施粘接等工序：在有机化合物处理中使用大气等离子表面处理器技术有着较大的优势，离子束混合-材料表面改性其优势如下。(1)干法工序，省电，无污染，满足节能，环保要求；(2)时间短，效率高；(3)对所处理的外形没有严格的要求，有着遍及性；(4)能处理各种形状的凹槽，产品外表处理均匀性好；(5)反应环境温度较低；(6)改善外貌所产生的效果仅为几百纳米，所有材料的功能并未受到影响。
目前等离子表面处理电镀镍金有软金（纯金，材料表面改性微信群金的表面不光亮）和3D硬金（表面光滑、坚硬、耐磨，含有钴等元素，金的表面更光亮）两种。软黄金主要用于集成电路芯片的线条；3D硬金主要用于非焊接件的电气互连。采用铜等离子体表面处理PI膜的结合强度测试（类似于DIN标准53494中描述的）。根据DIN标准，测定了电镀试样的总面积。FPC应用所需的最小抗拉强度为0.8N/...
