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等离子系统运行中检查项目

等离子处理设备主要包括预真空室、刻蚀腔、供气系统和真空系统四部分。等离子处理设备的工作原理是化学过程和物理过程共同作用的结果。

真空等离子系列

自动化离子清洗设备采用数控技术,真空等离子系列自动化程度高;具有高精度的控制装置,时间控制的精度很高;正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层,表面质量得到保证;采用气体作为清洗介质, 在真空中进行,不污染环境,可有效避免液体清洗介质对清洗物体的二次污染;自动化清洗系统可在工业清洗过程中实现机械化自动清洗,不需人工清洗,为生产企业节省了大量人力,大大降低了企业用人成本、生产时间成本。

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