反应性离子与表面污染物发生化学反应和纯化。应根据污染物的化学成分选择反应气体。化学等离子表面改性主要具有清洗速度快、选择性好、对有机污染物清洗效果好等优点。在大多数情况下，亲水性高分子棉管氩气用于等离子清洗，表面反应主要基于物理作用，没有氧化副产物或腐蚀各向异性。在等离子体表面改性过程中，化学反应与物理反应相结合，具有更好的选择性、一致性和方向性。
在表面反应原理中，亲水性高分子棉管等离子体净化起着关键作用，即作用离子体腐败和作用电子束腐败。这两种血浆提纯是相互促进的。离子轰击破坏纯化表面，削弱化学键，形成原子态，易吸收作用剂。离子碰撞使提纯的物质加热。等离子体处理设备的传统物理净化工艺是氩等离子体清洗。氩本身也是一种稀有气体。等离子体中的氩不会与表面相互作用，而是通过离子轰击来清洁表面。典型的等离子体化学清洗技术是氧等离子体清洗。
对于倒装芯片封装，亲水性高分子棉管采用等离子清洗机对该芯片及其封装载板进行处理，不仅可以获得超纯化的焊接表面，而且可以使其表面的活度大大提高，同时可提高填充料的边高及包容度，提高包装的机械强度，提高了产品的可靠性和寿命。
表面污染物主要有两个来源:通过物理和化学手段吸附到物质表面的外来分子和表面的天然氧化层:1)外来分子的物理吸附通常可以通过加热解吸，纯化水亲水性高分子材料而外来化学吸附分子则需要比较高能量的化学反应过程才能将其分离，2)等离子处理器表面的天然氧化层通常是在金属表面产生的，会影响金属的可焊性和与其他材料的结合性能。等离子体表面处理技术可以有效地处理上述两种表面污染物，但首先应选择合适的处理气体。
亲水性高分子棉管
