等离子清洗机的一般功能应用是： 1.等离子表面活化/清洗； 2.等离子处理后改善粘连； 3.等离子蚀刻/活化； 4.等离子脱胶； 5.等离子涂层（亲水、疏水）； 6. 增强的结合性能； 7.等离子涂层； 8.等离子表面改性等。在微电子封装的制造过程中，亲水性树脂abs指纹、助焊剂、各种相互污染、自然氧化等在器件和含有（有机）物质的材料表面形成各种污染。
固体表面润湿性由表面化学成分以及粗糙度来共同决定。由公式(1.1)可知，亲水性树脂abs通过控制固液界面的表面张力，可以降低表面能并提高接触角。研究发现，也可以通过改变表面粗糙度的大小来提高表面的接触角。为什么等离子清洗机会使材料表面具有亲水性等离子体又称为物质的第四态，它是气体在高压电场中被电离，产生带电正粒子、负粒子，其中包括正离子、负离子、电子、自由基和各种活性基团组成的集合体。
硅片表面的si-o键经过有机或无机碱浸泡和一定温度的退火后脱水聚合形成si-o键，纳米的亲水性树脂有哪些增加了硅片表面的亲水性，更有利于晶圆键合。对于材料的直接键合，亲水性晶片表面比疏水性晶片表面更有利于自发键合。。等离子体表面处理是一种稳定、高效的工艺。由于等离子体的高能量，可以分解材料表面的化学物质或有机污染物，并能有效去除所有可能附着的杂质，使材料表面能够满足下一涂层工艺的要求。
全流程气体干燥处理，亲水性树脂abs无需还原剂和水，几乎不存在环境问题，所以节能环保，节省更多成本。大型在线真空等离子体设备适用于广泛的处理,无论处理材料的类型,可以完成加工,如金属材料、半导体芯片、金属氧化物和大部分的纤维材料可以加工;作用时间短,反应速度快,高反应顺序,加工对象广，可显著提高产品质量。基片原有的功能并没有改变，改性材料只是在表面上，属于...
