二、气体管道检查 利用气体品质流量控制器来准确测量机器的气体品质流量控制器，肥皂亲水性并参考其（检）测值对设备的气体流量控制器进行校正。亦可参照同腔真空度检查，关闭总阀后检查显示O2、N2、CF4管路压力值，如发现数值有变化，用肥皂水喷洒在管路接口处观察，如有气泡，再更换接头恢复正常。
清洗过滤器的步骤如下。拆下四个螺丝将风机与过滤器分开。用压缩空气吹过滤器。如果过滤器很脏，肥皂亲水性和疏水性用肥皂水清洗干净，然后用压缩空气吹。更换垫片和过滤器，确保螺孔插座，突出的屏幕一侧朝外。过滤器应每月检查和清洗一次，这项任务可能需要20分钟左右。关于技术支持或备件，请联系等离子系统客户服务)9.3.8室门垫圈室门垫圈对于保持良好的真空反应室是必不可少的警告:潜在的燃烧危险!警告:反应室垫圈可能导致系统真空泄漏。
2.用压缩空气吹洗过滤器，肥皂亲水性如果过滤器非常脏，需要用肥皂水清洗然后用压缩空气吹洗。3.更换垫片和过滤器，确保螺丝孔窝，突出的屏幕的一侧是朝外。（过滤器应被检查清洗每月一次，这个任务可能在大约二十分钟。技术援助或更换零件，请联系等离子体系统的客户服务部）。9.3.8检查室门垫圈保持性能良好的真空反应室，室门垫圈是必不可少的警告:潜在的燃烧危险!警告:反应室垫圈会导致系统真空泄漏。
要清洁过滤器，肥皂亲水性和疏水性请执行以下步骤： 1. 拆下四个螺丝，拆下过滤风扇。 2.用压缩空气吹掉过滤器。如果过滤器很脏，应先用肥皂水清洗，然后再用压缩空气清洗。 3.更换垫圈和过滤器，确保螺丝孔插座和屏幕突出的一面朝外。 （过滤器需要每月检查和清洁一次。此过程可能需要大约 20 分钟。请联系 Plasma Systems 客户服务以获得技术帮助或更换零件）。
