此功能对于连接不同的表面（例如材料和金属）特别有用。不同的表面有不同的粘合剂。因此，氧气等离子使表面形成疏水效果的原因很难找到合适的胶水。等离子表面改性技术可以提高材料表面的附着力。有光泽的材料的表面通常印刷或粘在材料或其他材料上，例如金属手柄。用等离子体对这些光滑表面进行表面改性不仅提高了表面附着力，而且提高了表面印刷能力。氧气等离子处理等真空等离子表面改性处理优于气压等离子技术。真空等离子系统可以扩展等离子的效果，是一个极好的表面改善水平。
原位溅射中的等离子气氛也起到了类似的作用，氧气等离子使表面形成疏水效果的原因使得仅增加沉积时氧气流量而未经沉积后处理的薄膜漏电流甚至还低于热处理后的薄膜。氧气等离子处理方法显著提高了ZrAlO薄膜电容的电学性能，同增加沉积时氧气流量和沉积后热处理等工艺相比，等离子处理机等离子处理在优化薄膜性能方面具有更高的效率。
3. plasma清洗需要控制的真空度约为 Pa，氧气等离子使表面形成疏水效果的原因这种清洗条件很容易达到。因此这种装置的设备成本不高，加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂，这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺。。等离子处理机氧气等离子处理对MIM结构ZrAlO薄膜电容性能的影响：近十年来，高k介质薄膜在各类电介质应用领域的研究已取得了长足进步，高k薄膜的各方面性能也在不断突破。
此外，氧气等离子处理CO2、CO、H2O和空气中的一些含氧气体也可以在等离子体状态下分解成原子氧，这也是氧等离子体的功能。。随着半导体技术的发展，由于其固有的局限性，湿法刻蚀逐渐限制了其发展，因为它已不能满足具有微米甚至纳米级细线的超大规模集成电路的加工要求。晶片等离子体刻蚀机的干法刻蚀方法因其离子密度高、刻蚀均匀、表面光...
