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表面防粘处理

等离子体表面处理器应用于半导体晶圆清洗工艺具有工艺简单、操作方便、无废物处理和环境污染等优点。但是,金属表面处理分析它不去除碳和其他非挥发性金属或金属氧化物杂质。等离子体表面处理器常用于去除光刻胶。在等离子体表面处理器的反应系统中注入少量氧气。氧在强电场作用下产生等离子体,等离子体迅速氧化为挥发性气体化学物质。

金属表面处理分析

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表面防粘处理(金属表面防粘处理方法)

1、表面防粘处理(金属表面防粘处理方法)

3、等离子表面清洗技术的原理及技术应用