当微孔等离子处理过的HDI板直径减小时，路面潮湿为什么附着力减小传统的化学清洗工艺无法处理盲孔结构的清洗，而且液体的表面张力使液体难以渗透。使用孔时不可靠，尤其是激光钻孔微盲孔加工板。目前应用于微埋盲孔的孔清洗工艺主要有超声波清洗和等离子清洗，超声波清洗主要依靠空化效应来达到清洗目的。去污性能加剧了废液处理的问题。此阶段常用的工艺主要是等离子清洗工艺。等离子处理工艺简单，环保，清洗效果明显，对盲孔结构非常有效。
在接触孔蚀刻工艺中，路面潮湿为什么附着力减小如此显着的尺寸减小对在高纵横比的情况下确保接触孔开口提出了挑战，并且尺寸变化通常主要通过富含聚合物的蚀刻工艺来实现。...富聚合物蚀刻工艺倾向于缩小工艺窗口以确保良好的接触孔开口、高纵横比的接触孔侧壁形状控制和良好的尺寸均匀性。所有这些都是对工艺集成的建议，以实现更严格的电气特性。蚀刻工艺。
由于 90nm 和 65nm / 55nm 器件的关键尺寸要求，路面潮湿为什么附着力减小基本上不需要刻蚀工艺来减小接触孔的尺寸。如果由于光刻工艺的限制，将逻辑电路的极限降低到45nm/40nm及更先进的工艺技术节点，工艺集成通常需要将蚀刻后的接触孔极限降低1倍左右。... 40nm（尺寸偏差）偏移），开始使用多层掩模蚀刻技术。
最常用的电源的特点是等离子体能量低但等离子体密度高。效果均匀，附着力减小的意思成本稍高。约定为 至 0 瓦。激发频率为2.45GHZ的等离子体是微波等离子体，发生化学反应成本太高的反应，现在很少使用。1. 等离子清洗机的作用 1. 活化键能-桥接效应 等离子中的粒子能量为0~10 EV，而聚合物中的键能大部分为0~10 EV，因此等离子效应在表面。
