超声波等离子的自偏压在1000V左右，酒精会影响树脂附着力吗高频等离子的自偏压在250V左右，而微波等离子的自偏压很低，只有几十伏，三种等离子的机理不同.超声波等离子体产生的反应是物理反应，高频等离子体产生的反应既是物理反应又是化学反应，微波等离子体产生的反应是化学反应。射频等离子清洗和微波等离子清洗主要用于现实世界的半导体制造应用，因为超声波等离子清洗对待清洗表面的影响最大。。
等离子清洗操作方法：将待清洗片刺进石英舟并平行气流方向，影响树脂附着力推入真空室两电极间，抽真空到1.3Pa，通入恰当氧气，坚持真空室压力在1.3-13Pa，加高频功率，在电极间产生淡紫色辉光放电，通过调度功率、流量等技术参数，可得不一样去胶速率，当胶膜去净时，辉光不见。 等离子清洗机去胶影响要素： 1.频率选择：频率越高，氧越易电离构成等离子体。
简单地说，影响树脂附着力等离子清洗技术结合电浆物理、电浆化学和气固两相界面反应，能有效清除残留在电浆表面的有机污染物，保证电浆的表面和主体特性不受影响， 目前，它被认为是传统湿法清洗的主要替代技术。更重要的是，等离子体清洗技术不分处理对象的基材类型，对半导体、金属和大多数聚合物材料具有良好的处理效果，可以实现整体、局部和复杂结构的清洗。
2.检查输气管道的完整性和真空密封情况彻底清洁反应室后，影响树脂附着力定期检查真空系统的完整性，以防止污染物泄漏到反应室中。定期检查反应室门密封条是否松动。检查各管路是否连接紧密、老化等问题。3.清洁反应室先用脱脂棉布用无水酒精（俗称酒精）擦拭（不要用酒精擦拭反应室观察玻璃）真空室。其次，将（氩+氧）或（氮+氧）引入腔内，利用等离子体去除腔内残留物。每月至少工作一次10分钟。
