1、氯的亲水性（酰氯的亲水性和憎水性） 其根本原因是不同等离子体在深孔中的吸附位置不同，酰氯的亲水性和憎水性导致了两个不同的刻蚀阶段，出口附近有较多含氯较多的InCl2和InCl副产物，所以顶部主要采用化学刻蚀的方式进行刻蚀；而底部加氯的等离子刻蚀清洗机，等离子和副产物较少，以物理刻蚀为主。因此形成了不同的形貌。由于现有的等离子刻蚀清洗机...
