由于碳化硅和氮化镓的低晶格适应性，微波等离子表面处理仪氮化镓材料自然可以在碳化硅衬底上生长出高质量的外延，当然制备成本也很高。 GaN材料在LED和RF领域都具有独特的优势。氮化镓具有高电离、优异的断裂能力、更高的电子密度和速度、更高的工作温度、更低的传导损耗和更高的电流密度等优点。它通常用于三个领域：微波射频、电力电子和光电子。微波无线电频率包括 5G 通信、雷达警告、卫星通信和其他应用。
高温等离子体中的粒子温度T> 108-109K，微波等离子表面处理仪粒子有足够的能量相互碰撞，达到了核聚变反应的条件。低温等离子体又分为热等离子和冷等离子体两种。热等离子体是稠密气体在常压或高压下电弧放电或高频放电而产生的，温度也在上千乃至数万开，可使分子、原子离解、电离、化合等。冷等离子体的温度在 - 0K之间，通常是稀薄气体在低压下通过激光、射频或微波电源发辉光放电而产生的。
但机械打磨工效低，重庆微波等离子联系电话会产生大量粉尘污染环境，而且对表面异形的则难以打磨。对塑料制品则多采用火焰处理，以增加其表面粘接性，印刷性。但火焰处理时效短(几小时后就无效)、工效低、不能处理异形物件，而且火焰明火作业，消防上不安(全)。目前国内外也有用高频(13.56MHz)或微波产生等离子体对上述材料进行表面处理的公开报道，但多是实验室规模的。
在低温等离子中由于存在离子和自由电子、自由基，微波等离子表面处理仪其提供了常规化学反应器中所没有的化学反应条件，既能使原气体中的分子分解，又可以使许多有(机)物单体产生聚合反应。等离子体聚合可提供超薄、均匀、耐磨的连续薄膜，而...
